Nästa generation laser för mikrolitografi

Viktiga resultat som projektet gav

Syftet med projektet var att undersöka möjligheten att använda frekvensdubblade fasta-tillståndslasrar baserade på en ny typ av halvledarlasrar (MOPA) som ersättning till de jonlasrar Mycronic AB använder i sina världsledande fotomaskritare. Dessa halvledarlasrar är mindre, billigare, mycket energisnålare än jonlasrarna.

Långsiktiga effekter som förväntas

Undersökningen av möjligheten att använda frekvensdubblade fasta-tillståndslasrar baserade på en ny typ av halvledarlasrar har identifierat de utmaningar som finns med att nå tillräckligt hög effekt och kvalitet på laserstrålen. Detta har gett en bild av hur en kommande prototyp bör realiseras.

Upplägg och genomförande

Den ursprungliga planen reviderades på grund av förseningar i leverantörsled. Förseningen hanterades av projektteamet i enlighet med eventualitetsplanen så projektets effektmål kunde nås. Utvärdering av en MOPA laser inkl. frekvensdubblingsexperiment har genomförts. Lasern har tillräcklig effekt men strålkvalitén var inte optimal. Utvärdering av frekvensdubblingstekniken har genomförts och utföll enligt förväntningarna. Litteraturstudierna, experimenten och simuleringarna visar att det är rimligt att en laser med efterfrågade prestanda kan byggas.