HOYA-Acreo: Implantation anneal furnace for SiC DMOSFET process optimization

Diarienummer 2009-04554
Koordinator Acreo AB - Acreo AB, Kista
Bidrag från Vinnova 1 950 000 kronor
Projektets löptid november 2009 - februari 2011
Status Genomfört