EUREKA Eurostars UHV Piezo E!8938 PiezoMotor Uppsala AB

Diarienummer 2014-04150
Koordinator PiezoMotor Uppsala Aktiebolag
Bidrag från Vinnova 4 072 000 kronor
Projektets löptid november 2014 - december 2017
Status Avslutat
Utlysning Eurostars 2 medfinansiering
Ansökningsomgång Eurostars medfinansiering 2014-2015

Syfte och mål

Projektets mål var att utveckla aktuatorsystem för kommersialisering i olika typer av applikationer, allt från vetenskaplig instrumentering till hela halvledarmarknaden. Tre olika instrument för vakuummiljö har utvecklats inom projektet och alla är nära kommersiell introduktion. I huvudsak alla mål har uppnåtts och det finns bara några få tekniska detaljer, t.ex. ökad livslängd i UHV, som ska behandlas.

Resultat och förväntade effekter

Projektet har genomförts enligt den ursprungliga planen med stor framgång. Tre olika instrument baserade på den utvecklade tekniken har byggts och utvärderats i respektive applikation. Instrumentens prestanda uppfyller, eller har varit bättre än förväntat och instrumenten kommer att förberedas för marknadsintroduktion. Projektet har också resulterat i ökat kunnande inom teknik och tillämpningsområde vilket kommer att vara till nytta för framtida affärer.

Upplägg och genomförande

E8938 UHV Piezo Eureka har haft 4 deltagande parter: PIEZOMOTOR (PM), ALEMNIS (AL), EMPA och UPPSALA UNIVERSITET (UU). Projektet innefattade 7work-packages med ledare för resp. paket. WP1 Specifications (AL), WP2 Guiding System(UU), WP3 Sensors and Control (PM), WP4 Actuator Development(UU), WP5 Actuator and Module Manufacturing (PM), WP6 Integration in demonstration Instruments for validation and qualification (AL) and WP7 Qualification of the instrument for material science (EMPA). Projektplanen och ett gott samarbete möjliggjorde ett lyckat genomförande.

Texten på denna sida har projektgruppen själv formulerat och innehållet är ej granskat av våra redaktörer.