Avancerad litografilaser

Diarienummer 2017-03558
Koordinator KUNGLIGA TEKNISKA HÖGSKOLAN - Institutionen för tillämpad fysik
Bidrag från Vinnova 300 000 kronor
Projektets löptid oktober 2017 - februari 2018
Status Genomfört
Utlysning The strategic innovation programme, Smarter electronic systems
Ansökningsomgång Smartare Elektroniksystem: genomförbarhetsstudier

Syfte och mål

Med positivt resultat uppfylldes syftet med projektet som var att undersöka om ett nytt laserkoncept baserat på fasta-tillstånds laserteknologi skulle kunna vara en möjlig ersättning till de jonlasrar Mycronic AB använder i sina världsledande fotomaskritare. Detta koncept innebär en laser som är mindre, billigare, mycket energisnålare än jonlasrarna.

Resultat och förväntade effekter

En kompakt laser med låg energiförbrukning som kan utvecklas till att ersätta den Krypton-jonlaser Mycronic AB använder i sina laserritare idag har demonstrerats. Experimenten har visat på vägen till nästa nivå i utvecklingsarbetet. Teknisk och marknadsmässig kravprofil har tagits fram. Olika designer för paketering baserade på demonstratorn har utvärderats. Både kravprofilen och design inarbetas i planeringen för att ta utvecklingen till nästa steg.

Upplägg och genomförande

Inga signifikanta avvikelser från projektplanen.

Texten på denna sida har projektgruppen själv formulerat och innehållet är ej granskat av våra redaktörer.