EUREKA Eurostars E!9736 AP3-Hard Ionautics AB

Viktiga resultat som projektet gav

Målet med projekt AP3-Hard var att utveckla en ny typ av hårdvara och tillhörande process för högeffektspulsad industriell tunnfilmsbeläggning. Projektpart Ionautics utvecklade ett nytt kraftaggregat, HiPSTER 10, som framgångsrikt implementerades i projektpart Platits 411 industriella beläggningssystem. Nya icke-reaktiva samt reaktiva tunnfilmsrecept för hårda skikt togs fram för det nya systemet där tunnfilmerna uppvisade mycket god hårdhet, vidhäftning samt homogenitet på svåra 3D geometrier (verktyg).

Långsiktiga effekter som förväntas

Idén bakom nyttjandet av högeffektspulsad tunnfilmsbeläggning var att jonisera en större del av källmaterialet för att därmed möjliggöra styrning och acceleration av materialflödet och därmed förbättrade tunnfilmsegenskaper. Hårdvaran utvecklades och testades framgångsrikt på industriell skala. Genom karakterisering av processplasmat visades den förväntade joniseringen av materialflödet fungera. Genom beläggning av skikt bekräftades även att tekniken ledde till förbättringar i mikrostruktur och nötningsbeständighet jämfört med existerande konventionell teknik

Upplägg och genomförande

Ionautics tog fram den erforderliga högeffektspulsade kraftaggregatstekniken som kunde implementeras på industriell skala tack vare Platits expertis inom industriella tunnfilmssystem. BFH kunde sedan bekräfta att den föreslagna tekniken ledde till betydande jonisering av beläggningsmaterialet, vilket är nyckeln i den undersökta tekniken. Baserat på identifierade processinställningar kunde tunnfilm beläggas i det nya industriella systemet och EMPA kunde sedan bekräfta att de nya tunnfilmerna uppvisade mycket goda egenskaper.