Infraröd elektrooptiska integration

Syfte och mål

Det främsta målet är att genomföra en förstudie inom ett för RISE och SenseAir strategiskt område: Innovativa koncept för framtida utveckling av heterogen mikromekanisk integration av sensorer. Kritiska aspekter för integration av elektro-optiska komponenter i SenseAirs infraröda gassensorer har identifierats vilket möjliggör kapslingstekniker med tillräcklig noggrannhet och tillförlitlighet. Detta kan leda till väsentlig förbättring av sensorernas upplösning vilket möjliggör konkurrens med existerande laserbaserade instrument.

Resultat och förväntade effekter

Forskare med nyckelkompetenser från både Acreo och SenseAir har arbetat tillsammans för att möta utmaningarna kopplade till integration av MEMS och optik i samma kapsling. Resultatet från denna genomförbarhetsstudie visar att det är möjligt att i) använda industriellt tillgängliga kapslingstekniker för noggrann positionering av elektro-optiska komponenter, ii) ersätta sensorns kollimerande reflektiva optik med fullt integrerad refraktiv optik och därigenom förbättra sensorns upplösning

Upplägg och genomförande

De specifika delarna som beaktades i den här genomförbarhetsstudien var undersökning med avseende på prototyptillverkning och testning av i) generisk och gastät integrationsplattform för en MEMS-baserad IR-emitter / detektor och optisk lins gällande material (kapsel, fastsättning och kontaktering), konstruktion och toleranser; ii) Material och konstruktion av refraktiva linser; iii) kostnader för prototyp- och volymproduktion.