MultiPuls - Högeffektspulsad tunnfilmsprocess från multipla materialkällor
| Diarienummer | |
| Koordinator | IONAUTICS AB |
| Bidrag från Vinnova | 1 762 850 kronor |
| Projektets löptid | oktober 2017 - september 2019 |
| Status | Avslutat |
Syfte och mål
Ionautics har utvecklat en ny bipolär HiPIMS-enhet som tillåter synkronisering och finjustering av positiv puls för optimal jon-acceleration även synkront över multipla källor. Ionautics har utvecklat en ny synkroniseringsenhet av multipla HiPIMS-generatorer som möjliggjort sömlöst generering och synkronisering av multipla HiPIMS-urladdningar på flera materialkällor. Forskargruppen på LiU har påvisat möjligheten att styra energin hos de sputtrade metalljonerna med hjälp av bipolär HiPIMS.
Resultat och förväntade effekter
Ionautics ser stor potential i den prototyphårdvara (nytt kraftaggregat samt ny synkroniseringsenhet) som utvecklats under projektet. Fokus ligger nu på att enheterna skall CE-certifieras och tillverkningsprocessen industrialiseras, vilket möjliggör lansering av produkterna på världsmarknaden inom ett år efter avslutat projekt. En första modell av synkroniseringsenheten är redan tillgänglig. Ionautics förväntar sig att sälja åtminstone fem kraftaggregat inom tolv månaders tid efter det att produkten släppts.
Upplägg och genomförande
Projektet har varit ett samarbete mellan företaget Ionautics AB och forskargruppen Plasma- och Ytbeläggningsfysik på Linköpings universitet, där företaget utvecklat ny hårdvara för tunnfilmsbeläggning och forskargruppen utvecklat och analyserat själva beläggningsprocessen. Samarbetet har fungerat mycket bra och parterna har kompletterat varandra väl, vilket inte minst visas av de resultat i form av nya produkter, nya processer, nya vetenskapliga upptäckter samt patentansökan som projektet genererat.