MIXRAY

Syfte och mål

Projektets mål har varit att tillverka mikrostrukturer för högupplösande röntgen- och neutronavbildning. Dessa är nödvändiga för utveckling av produkter för framtida system. Etsade strukturer i dimensioner av några tiotals mikrometer kan tillverkas i en produktionsanpassad process. Speglande väggar för bättre ljusutbyte har tillverkats och en stabil process har utvecklats. Fyllning av scintillatormaterial/neutronkonverter både för röntgen och för neutroner har åstadkommits med en ny teknik, baserad på centrifugteknik. Komponenter för avbildning har tillverkats.

Resultat och förväntade effekter

Strukturerade scintillatorer har tillverkats med en unik process. Strukturens väggar beläggs med speglande skikt baserade på materialkombinationer som appliceras genom tunnfilmsteknik. I kombination meden fyllning av scintillerande material åstadkommes möjligheter till röngenfotondetektering som är överlägsna de som finns på marknaden i dag.Neutrondetekterande strukturer, baserade på halvledarmaterial samt fyllning med konverterarmaterial som omvandlar neutroner till laddade partiklar, har tagits fram i projektet. Detektorsystem som kan konkurrera med vad som finns på marknaden i dag har utvecklats.

Upplägg och genomförande

Etsning av strukturer har gjorts med DRIE, Deep Reactive Ion Etching, en teknik som utvecklats och optimerats för detta projekt med hänsyn till de material det gäller. De etsade strukturernas väggar har processats för att göra dem släta inför spegeldeponeringen. Denna "utslätningsteknik" är viktig och har optimerats. Väggarna har försetts med stabila speglande strukturer vilka har krävt betydande processutveckling av tunnfilmstekniker. Fyllningstekniken har optimerats. Neutrondetektorutvecklingen har följt ett liknande mönster som även inkluderar aktiva väggar.