mag-MEMS
| Diarienummer | |
| Koordinator | Silex Microsystems AB |
| Bidrag från Vinnova | 2 918 756 kronor |
| Projektets löptid | maj 2012 - februari 2014 |
| Status | Avslutat |
Viktiga resultat som projektet gav
Optimering av nya magnetiska matrl. för GHz området för RF MEMS / IPD applikationer utvecklat & demat upp till 3.7 GHz (klarar mobiltelefon krav spec) Omfattandet IPR och omvärldsanalys gjord av möjlig ny teknik för ny MEMS business. Etablerat nya internationella kund och leverantör kontakter. IP säkrat via 2 pågående patentansökningar och ett nytt beviljat USA/EU Varumärke. Integrering av nya avancerade material i existerande Silex tillvningsplattformar klar. Roadmap för upprampning till volymproduktion KLAR.
Långsiktiga effekter som förväntas
Världsledande prestanda på NiFe magnetiska material för RF-MEMS applikationer framtagna. Förväntas ge ny kunder och bredare teknologi bas. Förhopningsvis också nyanställningar.
Upplägg och genomförande
Omvärldsanalys av magMEMS kretsar = > val av demo (RF och IPD med NiFe som magnetiskt material i 3D TSV och TGV Induktanser) avvaktar med mag-MEMS för kompasser. Ekosystem: Etabl. av partners = > process teknologi och RF expertis med tillgång till nödvändig RF-lab stärker silex ställning inom RF-MEMS tillverkning. Matl. utv. i Silex 8´ fabrik med support av externa partners. Demostartor framtagn. av nytt magnet matl och nya TSV/TGV tekn. för hög presterande RF Induktanser inkl teori modeller mha KTH doktorand. Publ. & exploatering på konf/mässor inkl kund besök.