ENIAC PROMINENT MEMS-tillverkning förstärkt med bläckstrålemetoder Micronic Mydata AB

Diarienummer 2012-04314
Koordinator MICRONIC MYDATA AB (PUBL)
Bidrag från Vinnova 396 000 kronor
Projektets löptid januari 2013 - juni 2016
Status Avslutat

Syfte och mål

Syftet med Prominent-projektet var att undersöka fördelarna med maskfria, digitala och additiva tillverkningsmetoder istället för de subtraktiva processer, som huvudsakligen används inom MEMS-tillverkning idag. Med additiva metoder kan de initiala investeringskostnaderna sänkas, större flexibilitet vid tillverkning kan ges och nya MEMS-funktioner kan realiseras. I Prominent-projektet fokuserades arbetet på att utnyttja nya innovativa additiva tillverkningsmetoderna för att realisera fjorton olika demonstratorer, i vilka de subtraktiva processerna har ersatts.

Resultat och förväntade effekter

En piezo-baserad reometer som kan karakterisera flödesegenskaper hos funktionella material på ett sätt som kan korreleras till de processer som sker i beröringsfri depositionsteknologier, som inkjet och jetprinting, har utvecklats. Metoder att analysera från uppställningen erhållna data har utvecklats parallellt och ska utvecklas i samband med att nya material testas. Den utvecklade tekniken har använts för att karakterisera interconnect-material som har använts i en demonstrator tillsammans med Silex och TUT kring `Billiga metoder för via fyllning and 3D integration´.

Upplägg och genomförande

Mycronic har huvudsakligen deltagit som medlem av arbetspaket WP6 ´Materials specifications, sourcing and testing´, där Mycronic utvecklade en teknologi för att karakterisera funktionella material för deposition. Mycronic deltog även i WP2 ´Low cost methods for via fill and 3D integration´ i projektets slutskede för att hjälpa till att med jetprinting deponera interconnect-material på av inkjet fyllda Through-Silicon-Vior (TSV). Arbetet har resulterat i färdigställda demonstratorer i båda samt konferens-föredrag och vetenskapliga artiklar.

Externa länkar

External homepage for the ENIAC project Prominent.

Texten på denna sida har projektgruppen själv formulerat och innehållet är ej granskat av våra redaktörer. Projektets koordinator kan ge dig mer information.