ENIAC PROMINENT MEMS-tillverkning förstärkt med bläckstrålemetoder Micronic Mydata AB
| Diarienummer | |
| Koordinator | MICRONIC MYDATA AB (PUBL) |
| Bidrag från Vinnova | 396 000 kronor |
| Projektets löptid | januari 2013 - juni 2016 |
| Status | Avslutat |
Syfte och mål
Syftet med Prominent-projektet var att undersöka fördelarna med maskfria, digitala och additiva tillverkningsmetoder istället för de subtraktiva processer, som huvudsakligen används inom MEMS-tillverkning idag. Med additiva metoder kan de initiala investeringskostnaderna sänkas, större flexibilitet vid tillverkning kan ges och nya MEMS-funktioner kan realiseras. I Prominent-projektet fokuserades arbetet på att utnyttja nya innovativa additiva tillverkningsmetoderna för att realisera fjorton olika demonstratorer, i vilka de subtraktiva processerna har ersatts.
Resultat och förväntade effekter
En piezo-baserad reometer som kan karakterisera flödesegenskaper hos funktionella material på ett sätt som kan korreleras till de processer som sker i beröringsfri depositionsteknologier, som inkjet och jetprinting, har utvecklats. Metoder att analysera från uppställningen erhållna data har utvecklats parallellt och ska utvecklas i samband med att nya material testas. Den utvecklade tekniken har använts för att karakterisera interconnect-material som har använts i en demonstrator tillsammans med Silex och TUT kring `Billiga metoder för via fyllning and 3D integration´.
Upplägg och genomförande
Mycronic har huvudsakligen deltagit som medlem av arbetspaket WP6 ´Materials specifications, sourcing and testing´, där Mycronic utvecklade en teknologi för att karakterisera funktionella material för deposition. Mycronic deltog även i WP2 ´Low cost methods for via fill and 3D integration´ i projektets slutskede för att hjälpa till att med jetprinting deponera interconnect-material på av inkjet fyllda Through-Silicon-Vior (TSV). Arbetet har resulterat i färdigställda demonstratorer i båda samt konferens-föredrag och vetenskapliga artiklar.