ECSEL 2016 IA EuroPAT-MASIP Advanced Vacuum
| Diarienummer | |
| Koordinator | Advanced Vacuum Distribution Europe AB |
| Bidrag från Vinnova | 9 672 442 kronor |
| Projektets löptid | april 2017 - december 2020 |
| Status | Avslutat |
Syfte och mål
Advanced Vacuum AB. EuroPat MASIP-medlem har utvecklat en ledande plasma dicing system. Systemet består av tre olika enheter som inkluderar överföringsmodulen, processmodulen och själva modulen där vi etsar igenom kiselskivor. I de olika moduler ingår hårdvara som RF generatorer, massflödeskontrollers samt andra elektriska komponenter för att få allt att kommunicera tillsammans. Systemet bedömdes med medlemmar som FhG för exponerade metaller, Ketek för ny generation kiselfotomultiplikator
Resultat och förväntade effekter
Primära målmarknader är små enheter som diskreta enheter, passiva för vilka vår teknik kan möjliggöra kostandsreduktioner och avkastningsförbättringar. Sekundära marknader är enheter som kräver hög dicing kvalite eller nya die former som inte kan etsas, sågas eller använda laser vilket är den teknik som funnits tills idag. Marknadstrenderna är tunnare, mindre enheter med högre kvalite. Plasma dicing är väl positionerat för att möte dessa nya trender. Del i skapa framtidens teknologi.
Upplägg och genomförande
Management: P. Christensen CEO Advance Vacuum, C. Johnston, J. Perrocheau. Huvud ingenjörer Advanced Vacuum, D. Ertsas, J. Wermenstam, S. Nilsson, V. Tsimbalistöi and M. Kvist. Huvud ingenjörer Frankrike: S. Ferrand, V. Marcot P.Morin and M. Cottat. Systemet vi byggde i Sverie överfördes till vår anläggning i Grenoble i Frankrike för att fortsätta utveckla processer och förbättringar på både hårdvara och mjukvara. Detta är anledningen att vi även har haft franska ingenjörer anställda i projektet.