Mätmetod för termiska transportegenskaper hos nanostrukturer

Syfte och mål

Projektet syftade till att ta fram en metod för att kunna mäta termiska transportegenskaper i mycket tunna skikt vilket särskilt efterfrågas inom mikro- och nanoteknologisk halvledarindustri. Målet var att ta fram en metod för att mäta termiska transportegenskaper med en noggrannhet bättre än 3 % i en homogen eller multiskiktad struktur med total tjocklek < 10 µm. Med en mikrovågsanpassad stripgivare samt mätbrygga och utvecklad kalibreringsrutin, fungerar metoden för material med värmeledningsförmåga < 20 W/mK, vilket täcker in de flesta multiskiktade strukturer. För att kunna hantera riktigt högledande material krävs ytterligare förfining av kalibreringsrutinen.

Resultat och förväntade effekter

Målet är att Hot Disk AB ska kunna erbjuda kunder inom speciellt halvledarindustrin ett instrument baserat på denna metod. Kommersialiseringsfasen är uppdelad i tre delar, under fas 1 (-2016) och 2 (2017) etableras mätfacilitet vid Chalmers respektive återförsäljare i USA, Tyskland och eventuellt Taiwan. Under fas 3 (2018-) sker lansering av instrument. En årlig försäljning på 5-10 instrument uppskattas, med ett försäljningspris på runt 1 MSEK till slutkund.

Upplägg och genomförande

Projektet har varit interdisciplinärt där spetskompetens inom mikrofabrikation, mikrovågsteknik och teoretisk modellering av värmetransport har kombinerats. Kvalificerad personal från Nanofabrikationslabbet vid Chalmers och SP Sveriges Tekniska Forskningsinstitut, Borås har medverkat i projektet.