Jonstrålebaserad materialanalys och materialmodifiering för energieffektivare elektronik
Diarienummer | |
Koordinator | Kungliga tekniska högskolan - Institutionen för mikroelektronik och tillämpad fysik |
Bidrag från Vinnova | 2 400 000 kronor |
Projektets löptid | december 2007 - december 2012 |
Status | Avslutat |
Viktiga resultat som projektet gav
Kisel är det i särklass vanligaste materialet i elektronikkomponenter. Emellertid, det är möjligt att minska energiförbrukningen genom att använda andra halvledare, t.ex. sådana med stort bandgap (kiselkarbid, diamant..). För kraftelektronik skulle då stora vinster kunna göras genom minskade effektförluster. För att tillfullo utnyttja potentialen hos halvledare med stora bandgap i komponenttillverkning behövs en ökad förståelse och förbättring av ingående processteg, skyddande lager behöver förbättras, strålkänslighet behöver undersökas etc. Huvudfokus i detta projekt är på karakterisering och modifiering med av de bredbandiga halvledarmaterialen kiselkarbid och diamant med jonstrålar. En nya utrustningen ´Medium Energy Ion Scattering´, MEIS, kommer att installeras under 2008 vid Tandemlab. i Uppsala och med den kommer föroreningskoncentrationer och läge av atomer i en tunn film att bestämmas med en precision på ett atomlager. Vidare kommer utrustning vid Tandemlab. att utnyttjas till modifiering och strålningshärdighetstester.
Långsiktiga effekter som förväntas
Förväntat projektutfall: - Tillhandahålla nödvändig kunskap för komponentanalys med MEIS - Meriteringsmöjlighet för kvinnlig forskare - Kunskapsöverföring till svenska företag och institut - Stärkt samarbete UU/KTH inom ramen för jonteknologiskt center (ITC)
Upplägg och genomförande
Projektet består av fyra delmoment. Först kunskapsinhämtning om den ny analysteknik MEIS. Därefter teknisk optimering av ny MEIS utrustning. Sedan följer grundläggand tillämpbar forskning, och avslutningsvis kunskapsöverföring till industri.