ECSEL 2017 IA -- POSITION-II -- SILEX Microsystems AB
| Diarienummer | |
| Koordinator | Silex Microsystems AB |
| Bidrag från Vinnova | 4 985 049 kronor |
| Projektets löptid | juni 2018 - september 2021 |
| Status | Avslutat |
Syfte och mål
POSITION-II är ett projekt för att utveckla nya minimalt invasiva procedurer för att tex möjliggöra angioplastikoperationer, behandling av hjärtarytmier och hjärtklaffsoperationer. Syftet med projektet är att utveckla smarta avbildnings- och sensorkatetrar som blir kirurgens ”ögon och öron” under operationen. Projektet har förbättrat Europas konkurrenskraft inom det snabbt växande fältet för minimalt invasiva operationer. Silex har genom detta projekt byggt upp en världsledande produktionslina för ultraljudstransducers baserade på piezoelektrisk teknik.
Resultat och förväntade effekter
Projektets partners har utvecklat, tillverkat och jämfört elektro-akustiskt olika MEMS baserade teknologier för tillverkning av ultraljudstransducers. En gemensam benchmarking av olika CMUT/PMUT teknologier har utförts. Denna benchmarking har möjliggjort en detaljerad jämförelse och kartläggning av olika komponentteknologier mot olika applikationsområden och en gemensam roadmap har byggts upp. Under projektets gång har Silex har byggt upp en världsledande produktionslina för tillverkning av utraljudstransducers baserade på det piezoelektriska materialet PZT.
Upplägg och genomförande
Silex har integrerat och byggt upp en produktionslina för PZT baserad MEMS. Silex har karakteriserat prestanda och utfört tillförlitlighetstester av PZT materialet. Silex har designat, tillverkat och processförbättrat PMUT transducers för gemensam benchmarking hos Philips (Eindhoven). För att möjliggöra benchmarking så har protokoll och testuppställning utvecklats hos Philips (Eindhoven). Mätningarna av CMUT/PMUT prestanda har analyserats och sammanfattats in ett white paper. Teknologierna har analyserats och kartlagts mot olika applikationer i en gemensam roadmap.