Ultraprecis halvledarnanofabrikation för nanoelektronik med minimal miljöpåverkan

Syfte och mål

Halvledarindustrin är en mycket viktig nyckel i den globala ekonomin men står inför stora utmaningar framöver. Dessa utmaningar är kopplade till både hållbarhet och nuvarande tillverkningsmetoder. Detta projekt är ett sammarbete mellan AlixLabs och Halmstad Universitet och fokuserar på att vidareutveckla AlixLabs patenterade APS process för att möjliggöra energieffektiv och miljövänlig tillverkning av avancerade halvledare.

Förväntade effekter och resultat

Vi avser att vidareutveckla och bredda appliceringen av AlixLabs APS platform genom att utveckla (i) ultraprecis nanofabrication med sub-10nm strukturer, (ii) förbättra ojämnheterna i strukturerna genom etsning av ett atomlager i taget, (iii) kostnadseffektiva och miljövänliga metoder för hög tillverkningskapacitet av halvledarchip i Europa. Detta skulle innebär en lyckad utveckling av nya nanofabrikationstekniker som uppfyller kraven för avancerade halvledararkitekturer.

Planerat upplägg och genomförande

Projektet är ett samarbete mellan AlixLabs och Halmstad Universitet som jobbar för att utveckla Alixlabs APS teknik. Alixlabs kommer att arbeta med utecklingen av sub-10nm sturkturer med APS, förbättring av stukturernas ojämnheter samt validering av tekniken på en industriell standard platform. Halmstad Universitet kommer bidra med teknisk kompetens samt en utvärdering av miljöpåverkan av APS tekniken med avseende på bland annat energiförbrukning, vattenkonsumption och växthusgasutsläpp.