Ultrarent vatten för nanochip- och kvantdatorchiptillverkning. Produktifiering av Yield Enhancement Tool, YET

Viktiga resultat som projektet gav

Projektet syftade till att ta fram en s.k. Prototyp 2 på en renvattenmodul som genererar absolut rent vatten för rengöring av kiselskivor i halvledarindustrin. Prototypen skall vara mobil och så långt möjligt motsvara slutprodukten. Utgångspunkten är en preliminär URS. P2 skall dels utformas exteriört för att fungera i kundernas renrumsanläggningar, samt vara försedd med relevanta kopplingar och anslutningar. Vidare skall P2 förses med en dispenseringsmodul. som för över vatten från vattenmodulen till kiselskivornas ytor utan att vattnet kontamineras.

Långsiktiga effekter som förväntas

2.2 Resultat och förväntade effekter Projektet resulterade i att leverans av P2 helt enligt de specifikationer som anges i syfte och mål uppfyllts till fullo. Projektets syfte var att ta fram en prototyp P2 på den renvattenmodul som utvecklats i avslutade Innovativa Startups 1. Denna byggs i huvudsak i samarbete med den externa konsulten Reilers. Protoypen levererades i god tid enligt projektplanen och är nu installerad vid Electrumlaboratoriet.

Upplägg och genomförande

2.3 Upplägg och genomförandeanalys Projektets upplägg gick ut på att arbeta tätt samman med teknikkonsulten Rejlers. Detta samarbete fungerade utmärkt så till vida att konsulten var lyhörd för de justeringar och tillägg som uppstått under arbetets gång. Vidare skedde godkännandeprocesser före och efter installationer föredömligt. Målet består av två intimt sammanflätade delar: 1. Att bygga en modul (baserad på membrandes tillation) som genererar nanorent vatten (i praktiken utan föroreningar större än 3 nm.