Nanorent vatten för tillverkning av nästa generations halvledare

Syfte och mål

NSS Water´s syfte var att bygga en större testrigg av sitt system för produktion av nanorentvatten till halvledareindustrin. Detta för att kunna utvärdera och testa hur ett sådant system bör utformas för att uppnå kundnytta. Nyttan för tilltänkta kunder är minskad vatten och kemikalieanvändning samt ökad kvalité på vattnet. Systemet behövde användas i en riktig renrumsmiljö som avspeglar tillverkningsmiljö inom halvledareindustrin, detta för att kunna utföra så riktiga tester som möjligt.

Resultat och förväntade effekter

Resultatet av projektet har varit lyckade. Det förväntade utfallet var att vi skulle se hur på lättast kan integrera vårt system i en tillverkningsprocess samt om vi behöver göra några förändringar och förbättringar. Tack vare den data vi har samlat in i projektet har vi kunnat identifiera vad vi behöver göra för att komma vidare till "nästa steg". Tillsammans med våra partners har vi uppnått de mål vi satt upp.

Upplägg och genomförande

Upplägget har varit som sådant att vi installerat vår utrustning i en renrumsmiljö, en sådan miljö som finns inom halvledaretillverkning, detta har skett vid Chalmers tekniska högskola. Vi har identifierat i vilket steg vår utrustning skulle göra mest nytta och utfört tester och datainsamling. Ett test är tex att se hur vårt system kan kommunicera med ett annat system och hur styrsystemet skall bete sig i olika situationer. Utifrån insamlad data har vi skapat olika scenarion där vi kunnat anpassa och trimma in systemet för en specifik applikation.