SMF FunMat II: Industriell plasmadiagnostik för digitaliserad tunnfilmstillväxt (SmartPlasma)

Viktiga resultat som projektet gav

Projektet genomfördes som SME-projekt inom det Vinnovafinansierade kompetenscentrumet FunMat-II och har utvecklat system och instrument för att möjliggöra kvantifiering och kontroll i realtid av joniserade materialflöden som används i plasmabaserade beläggningsprocesser. Mer specifikt inom högeffektspulsad magnetronsputtring (HiPIMS), som är en nyckelteknologi inom FunMat-II. Detta har resulterat i en helt ny produkt-prototyp för Ionautics kallad IonMeter, där en första enhet är testad med mycket goda resultat.

Långsiktiga effekter som förväntas

Projektet har resulterat i två nya produktprototyper: 1) en diagnostikmodul som möjliggör in-situ plasmadiagnostik i beläggningssystem med fokus på beläggningshastighet och andel joniserat materialflöde, och 2) en ny modell av företagets HiPSTER HiPIMS plasmagenerator med nytt kommunikationsgränssnitt för att möjliggöra “smart” processkontroll mha diagnostik från beläggningsprocessen. En vetenskaplig publikation kommer också att skickas in tillsammans med Linköpings universitet.

Upplägg och genomförande

Projektet var uppdelat i tre arbetspaket som syftade till att öka mognadsgraden hos Ionautics nya koncept med integrerad in-situ plasmadiagnostik och HiPIMS plasmageneratorer. Detta skedde genom följande utvecklingsarbete: 1) industriell plasmadiagnostik för automatisk processkontroll och 2) plasmageneratorer som kan kommunicera med och styras av externa diagnostiska källor, samt 3) applicering av hårdvaran i relevanta HiPIMS-beläggningsprocesser. Vi tycker att denna strategi fungerade väl.