Du har inte javascript påslaget. Det innebär att många funktioner inte fungerar. För mer information om Vinnova, ta kontakt med oss.

Smart styrning av plasmaprocesser inom tunnfilmsbeläggning för halvledarindustrin

Diarienummer
Koordinator Ionautics AB
Bidrag från Vinnova 2 967 945 kronor
Projektets löptid maj 2026 - april 2028
Status Pågående
Utlysning Samarbetsprojekt för små och medelstora företag Sverige-Tyskland
Ansökningsomgång Samarbetsprojekt för små och medelstora företag Sverige-Tyskland år 2025

Senast uppdaterad 17 mars 2026

Diarienummer 2025-03918