Smart styrning av plasmaprocesser inom tunnfilmsbeläggning för halvledarindustrin
| Diarienummer | |
| Koordinator | Ionautics AB |
| Bidrag från Vinnova | 2 967 945 kronor |
| Projektets löptid | maj 2026 - april 2028 |
| Status | Pågående |
| Utlysning | Samarbetsprojekt för små och medelstora företag Sverige-Tyskland |
| Ansökningsomgång | Samarbetsprojekt för små och medelstora företag Sverige-Tyskland år 2025 |