Du har inte javascript påslaget. Det innebär att många funktioner inte fungerar. För mer information om Vinnova, ta kontakt med oss.

Smart styrning av plasmaprocesser inom tunnfilmsbeläggning för halvledarindustrin

Diarienummer
Koordinator Ionautics AB
Bidrag från Vinnova 2 967 945 kronor
Projektets löptid maj 2026 - april 2028
Status Pågående
Utlysning Samarbetsprojekt för små och medelstora företag Sverige-Tyskland
Ansökningsomgång Samarbetsprojekt för små och medelstora företag Sverige-Tyskland år 2025

Syfte och mål

Projektet syftar till att utveckla en smart, digitaliserad HiPIMS-baserad PVD-plattform med plasmageneratorer, integrerad realtidsdiagnostik och automatiserad processkontroll. Målet är att möjliggöra stabil, reproducerbar och konform tunnfilmsbeläggning på komplexa 3D-strukturer i halvledarapplikationer. Genom att styra jonisering och flödesfördelning i realtid skapas förutsättningar för högre kvalitet, effektivare processer och industriell skalbarhet.

Förväntade effekter och resultat

Projektet levererar en integrerad HiPIMS-plattform med realtidsdiagnostik och automatiserad processkontroll. Resultatet blir stabil, reproducerbar och konform tunnfilmsbeläggning på komplexa 3D-strukturer. Detta ger ökat materialutnyttjande, högre utbyte och lägre energiförbrukning. Tekniken möjliggör snabbare processutveckling, minskade kostnader och stärker Europas konkurrenskraft inom avancerad halvledartillverkning.

Planerat upplägg och genomförande

Projektet genomförs i fem arbetspaket som omfattar diagnostik, utveckling av styrsystem och kraftaggregat samt integration och validering i industriell miljö. Iterativ utveckling kombineras med realtidsmätningar och modellering för att möjliggöra automatiserad processkontroll. Tester sker i både labb- och industriskala. Projektet leds av Ionautics med tydlig ansvarsfördelning mellan industri och akademi samt kontinuerlig projekt- och IP-hantering.

Texten på den här sidan har projektgruppen själv formulerat. Innehållet är inte granskat av våra redaktörer.

Senast uppdaterad 19 maj 2026

Diarienummer 2025-03918