Du har inte javascript påslaget. Det innebär att många funktioner inte fungerar. För mer information om Vinnova, ta kontakt med oss.

Till sidans huvudinnehåll Till webbplatskartan Till webbplatskartan Se tillgänglighetsinformation

HOYA-Acreo: Implantation anneal furnace for SiC DMOSFET process optimization

Diarienummer
Koordinator Acreo AB - Acreo AB, Kista
Bidrag från Vinnova 1 950 000 kronor
Projektets löptid november 2009 - februari 2011
Status Avslutat

Senast uppdaterad 8 maj 2017

Diarienummer 2009-04554