Förstudie om MEMS-sensorer för ultraljudsbaserad kontroll och övervakning av bultförband

Viktiga resultat som projektet gav

Projektets mål är att undersöka möjligheten att använda MEMS-baserade ultraljudssensorer för inspektion och kontroll av skruvförband för Atlas Copcos applikationer. Under projektet studerades en konventionell piezoelektrisk ultraljudstransduktor, kapacitiv mikromaskinbearbetad ultraljudstransduktor och piezoelektrisk mikromaskinbearbetad ultraljudstransduktor med Comsol-simuleringar enligt sensor´s specifikationen. Sensordesignen och tillverkningens genomförbarhet har också behandlats, vilket har lagt grunden för att tillämpa följande FoU-projekt.

Långsiktiga effekter som förväntas

Sensorer baserade på MEMS kan spela en nyckelroll i miniatyrisering med tanke på möjligheterna med dagens mikrotillverkningsteknik. Huvudmålet för detta projekt är en genomförbarhetsstudie av MEMS-baserade sensorer för att kontrollera och övervaka åtdragningen av skruvförband i industriella processer. Resultatet av projektet indikerade det lovande att bly-zirkonat-titanat baserad PMUT kunde uppfylla specifikationen tillhandahålls av Atlas Copco. PUMT 1D/2D-grupperna avslöjade särskilt flexibilitet för att tillämpa dem på online industriell bearbetning.

Upplägg och genomförande

Projektet har delats in i arbetspaket (WP) med detaljerade uppgifter och framstegen har övervakats och verifierats med milstolpar. Projektarbetet har utförts på nära samarbete och alla teammedlemmar träffades online av teammöten varje vecka. Alla projektpartners har lämnat sitt bidrag i ett komplement, och teamet har formats väl. En framtida samarbetsplan har överenskommits inklusive en gemensam ansökan om att fortsätta detta arbete.