E!114277, IonDrive, Ionautics AB
| Diarienummer | |
| Koordinator | Ionautics AB |
| Bidrag från Vinnova | 3 996 242 kronor |
| Projektets löptid | september 2020 - augusti 2022 |
| Status | Avslutat |
| Utlysning | Eurostars – för forskande små och medelstora företag |
Syfte och mål
Projektet har utvecklat system och instrument för en ny metod för tunnfilmsbeläggning kallat bipolär HiPIMS. Samtliga produkter färdigställdes: Plasmagenerator för bipolär HiPIMS från Ionautics. Tofwerk tillverkade en första prototyp av en energiupplöst masspektrometer (EMS). En prototyp av ett industriellt bipolärt HiPIMS-beläggningssystem färdigställdes hos Evatec. Projektet har hittills resulterat i fyra publicerade och tre inlämnade vetenskapliga publikationer (BFH och LiU).
Resultat och förväntade effekter
Bipolär HiPIMS möjliggör jonisering och acceleration av materialflödet för att syntetisera tunnfilmer av ökad kvalité. Kontroll av jonenergier i materialflödet har uppnåtts. Vi har även verifierat selektiv jonacceleration genom att använda mycket korta negativa HiPIMS-pulser i kombination med en synkroniserade positiv puls. Den huvudsakliga fysikaliska mekanismen i processen är plasmapotentialen, som har visat sig förändras med tryck, toppström, pulslängd och magnetfältskonfiguration.
Upplägg och genomförande
Deltagandet i detta Eurostars-projekt gjorde det möjligt att utveckla ny bipolär pulsad plasmateknik för syntes av tunnfilm. Ionautics behövde hjälp från universitetspartners för att identifiera optimerade processparametrar. De pekade också ut lämpliga användningsområden (när man ska använda och när man inte ska använda denna teknik), vilket är oerhört värdefullt i vår marknadsföring.