E!113749, LPCVD, Kiselkarbid i Stockholm AB
| Diarienummer | |
| Koordinator | Kiselkarbid i Stockholm AB |
| Bidrag från Vinnova | 4 292 000 kronor |
| Projektets löptid | april 2020 - juni 2025 |
| Status | Pågående |
| Utlysning | Eurostars – för forskande små och medelstora företag |
Syfte och mål
KISAB har utvecklat FSGP-M processen som möjliggör produktion av högkvalitativa kiselkarbidsubstrat. I det här projektet utvecklas en CVD-process för produktion av källmaterial som används i FSGP-M processen.
Förväntade effekter och resultat
Avsevärt lägre kostnad för tillverkning av högkvalitativa kiselkarbid substrat.
Planerat upplägg och genomförande
Under projektet utvecklas en högeffektiv process vilken sänker kostnaden för källmaterialet genom att tillämpa en ny reaktor princip.