EPAMO
| Diarienummer | |
| Koordinator | Silex Microsystems AB |
| Bidrag från Vinnova | 2 604 060 kronor |
| Projektets löptid | april 2011 - mars 2014 |
| Status | Avslutat |
Viktiga resultat som projektet gav
Optimering av nya TSV för GHz området för RF MEMS / IPD applikationer utvecklat & demat upp till 10 GHz (klarar mobiltelefon krav spec). Ny Vakuumkapslings teknik på skivnivå utvecklad och verifierad. Omfattande IPR och omvärldsanalys gjord av möjligheter med ny TSV teknik för ny MEMS och RF applikationer. Etablerat nya int. kund och leverantörs kontakter. IP säkrat via 2 pågående patentansökningar och ett nytt beviljat USA/EU Varumärke. Ny produktions utrustning kvalificerad inom projektet för att lösa tidigare problem. Roadmap för upprampning till volymproduktion KLAR.
Långsiktiga effekter som förväntas
Nya affärskontakter etablerade & offert förfrågn. från 4 stora IC företag kring IPD. Ny försäljning efter road tours i USA / EU förväntas senare under 2015) Mål 2015: > 10 MSEK i omsätn. på nya teknologin från projektet. Deltagit på 5 mässor/konferenser. Inbjuden art. i ansedda tidskriften MWJ på MWC i Barcelona Feb´14. TSV med bra RF egenskaper demonstrerade. Process integr. möjlig med magnetisk kärna möjlig för bättre Induktanser (dvs synergi effekter med nyss avslutat F&V projekt mag-MEMS). Ny möjlighet för förbättrade RF egenskaper mha glass Via substrat. Ny IP inom detta tekn.omr.
Upplägg och genomförande
Silex har varit WPL för IPD som vi fickta over efter ett halvår i då tyska partner med ansvar för detta (L-Foundry) gick i KK. Silex har deltagit som board member och fått bra inblick i hela projektet. Projekt har drabbats av stor förseningar och omtag då först inom första halvåret en Partner gick i konkurs och under år3 en av partnerserna som Silex samarbetade intensivt med blev uppköpta och nya ägaren inte ville fortsätta i projektet. Silex har på egen hand och tillsammans med några externa samarbetspartners utanför projektet fått fram bra resultat som nu håller på att kommersialiseras.