En positionskännande detektor för extrem ultraviolett strålning

Viktiga resultat som projektet gav

Eftersom våglängden 13,5 nm (EUV) börjar bli vanligare inom fotolitografi processer är det viktigt för SiTek att dess produkter klarar av att prestera även för denna våglängd. Målet för projektet var att utvärdera prestanda (känslighet, olinjäritet, läckström och långtidsegenskaper) vid våglängden 13,5 nm hos olika designer av positionskännande detektorer. Testerna som gjordes vid strålröret SPECIES på MAX IV gav tydliga indikationer av vilka designer av detektorerna som hade störst potential att fungera väl vid våglängden 13,5 nm

Långsiktiga effekter som förväntas

Resultatet av projektet är att mätningarna som genomfördes på MAX IV visade på tydliga skillnader mellan de olika designerna av detektorerna gällande prestanda. Justeringarna som gjordes av detektorerna mellan första och andra rundan på MAX IV gav tydliga förbättringar inom flera kategorier. Framtaget finns nu två designer av detektorer som uppvisade lovande prestanda i testerna. Planen är att, tillsammans med potentiella slutkunder av detektorerna i industrin, genomföra den utveckling som krävs för nå fram till en färdig produkt.

Upplägg och genomförande

Med hjälp av simuleringar genomförda av forskare vid Institutionen för Elektronikkonstruktion (EKS) vid Mittuniversitetet kunde flera olike designer av detektorer tas fram och sedan tillverkas av SiTek. Mätningar och tester vid MAX IV i Lund möjliggjorde sedan experimentell utvärdering av prestandan för de olika detektorerna. Tack vare att mätningar vid MAX IV gjordes i två omgångar kunde lärdom tas från första rundan och implementeras vid tillverkningen av en ny runda detektorer som testades andra omgången.

Externa länkar

En positionskännande detektor för extrem ultraviolett strålning