E!12584, TiSR, Novel MEMS Microphone Packaging Technology for an Inner Ear Microphone, Linköpings Universitet

Viktiga resultat som projektet gav

Forskare vid avdelningen vid Tunnfilmsfysik vid Linköpings Universitet har, tillsammans med Schweiziska och Belgiska industriella och akademiska partners tagit fram metoder för att tillverka extremt tunna membran för användning som ljudreceptorer i en helt implanterbar hörapparat. Målet var att ta fram titanmembran, som är 1 µm tunna och har en diameter av 500 µm, som är helt fria från mekanisk spänning samtidigt som de fungerar som en hermetisk biokompatibel gräns mot öronsnäckans inre. Detta lyckades tack vare avancerade metoder för materalsyntes och analys vid LiU.

Långsiktiga effekter som förväntas

I detta projekt har många materialtekniska problem identifierats och löst samtidigt som vi utforskat nya typer av titanbaserade nanoteknologiska membran som uppvisar mycket lovande resultat med avseende på biokompatibilitet och ljudupptagande egenskaper. Ljudreceptormembran som kan implanteras i öronsnäckan kommer att möjliggöra 100% implanterbara hörapparater utan yttre delar och kommer ge personer med nedsatt hörsel en avsevärt större upplevd frihet. Efterfrågan anses vara mycket stor och tack vare detta projektet är vi ett steg närmare en sådan produkt.

Upplägg och genomförande

Genom att analysera membran, från tidigare försök, med avancerad elektronmikroskopi kunde flera felkällor identifieras och återkopplas till våra Schweiziska och Belgiska projektpartners för korrektion i deras processer. Vid avdelningen för Tunnfilmsfysik vid Linköpings universitet undersöktes därefter orsakerna till olika spänningsutveckling i membranen under tillverkning i realtid. Detta ledde till en förståelse av problemet och förslag till en förbättrad tillverkning hos Swiss Neutronics som är den industriella projektpartnern.