Atomic Layer Etching for sub 10 nm semiconductor manufacturing - Proof of Concept

Syfte och mål

Målet var att visa att den innovativa och patenterade metod som AlixLabs har, att låta halvledarindustrin tillverka de mest avancerade kretsarna till en lägre kostnad än idag, fungerar för högvolym produktion. Viktiga steg har tagits i denna riktning, och inget har hittills framkommit som motbevisar de gjorda antaganden, men målet har ännu inte uppfyllts.

Resultat och förväntade effekter

AlixLabs har under projektet etablerat en reguljär operativ verksamhet, tagit avgörande steg i labbet och etablerat flertalet partnerskap som kan ha stor framtida betydelse.

Upplägg och genomförande

Projektet har genomförts med egen personal i Lund NanoLabs lokaler, detta har fungerat utmärkt och är också en absolut förutsättning med tillgång till denna typ av Nanolab, vi har har också i viss mån nyttjat Chalmers motsvarande anläggning. Projektupplägget kan i efterhand konstateras som något optimistiskt där mer tid behöver reserveras för förberedelser och instrument intrimning.

Externa länkar

AlixLabs is an innovative startup enabling the semiconductor industry to scale down in a cost effective manner.