Wafer-level packaging av MEMS och CMOS med integrerade metall-vior
| Diarienummer | |
| Koordinator | Silex Microsystems AB |
| Bidrag från Vinnova | 2 251 000 kronor |
| Projektets löptid | juni 2008 - december 2009 |
| Status | Avslutat |
| Ansökningsomgång | Forska&Väx 2008 - A, B Aktiebolag 2008-04-14 |