Avancerad laser för industriell litografi

Diarienummer 2018-01536
Koordinator KUNGLIGA TEKNISKA HÖGSKOLAN - Institutionen för tillämpad fysik
Bidrag från Vinnova 1 530 000 kronor
Projektets löptid augusti 2018 - juli 2020
Status Pågående
Utlysning Strategiska innovationsprogrammet Smartare elektroniksystem
Ansökningsomgång Forsknings- och innovationsprojekt

Syfte och mål

Projektet syftar till att utveckla en laser för optisk litografi som skall utvärderas på Mycronic AB. Den baseras på ett patentsökt koncept framtaget vid laserfysikavdelningen på KTH. Tillämpningen kräver god strålkvalité, lågt brus, låg energiförbrukning och en hög uteffekt. Lasern är tänkt att ersätta den mycket energikrävande och dyra lasern som används idag. Projektet skall också att resultera i förbättrade kontakter mellan forskarna på KTH och utvecklingsavdelningen på Mycronic, och ge doktorander en insikt i hur man arbetar på ett high-tech företag.

Förväntade effekter och resultat

Utveckla en kompakt, effektiv och stabil laser med låg energiförbrukning för att ersätta den laser Mycronic använder idag. Utvärdera olika designer för paketering av senare prototyper baserade på demonstratorn med fokus på tillverkningskostnad, producerbarhet, robusthet och format. Ta fram teknisk och marknadsmässig kravprofil. Skydda uppfinningar. Publicera vetenskapliga resultat internationellt. Ge doktorander och forskare insikt i hur industrirelevant projekt fungerar så att de efter examen kan få arbete i adekvat högteknologisk teknikindustri.

Planerat upplägg och genomförande

Projektet leds av Laserfysikavdelningen på KTH i nära samarbete med nyckelpersoner på Mycronic AB och SLF Svenska Laserfabriken AB. KTH genomför huvuddelen av utvecklingsarbetet, Svenska Laserfabriken ansvarar för produktifieringen, medan Mycronic integrerar lasern i sina system. Arbetet är uppdelat i fyra arbetspaket och en risk och konsekvensanalys är gjord för att minimera fel och misslyckande.

Texten på denna sida har projektgruppen själv formulerat och innehållet är ej granskat av våra redaktörer.