Avancerad laser för industriell litografi

Diarienummer 2018-01536
Koordinator KUNGLIGA TEKNISKA HÖGSKOLAN - Institutionen för tillämpad fysik
Bidrag från Vinnova 1 530 000 kronor
Projektets löptid augusti 2018 - juli 2020
Status Pågående
Utlysning Strategiska innovationsprogrammet Smartare elektroniksystem
Ansökningsomgång Forsknings- och innovationsprojekt