Ultrarent vatten för massproduktion av nanochips. Prototyputveckling av YET, Yield Enhancement Tool

Syfte och mål

Att utveckla en prototyp som visar dels att nano-rent vatten kan produceras i tillräcklig mängd för en tvättprocess och att detta kan valideras med en egenutvecklad analysmetod.

Resultat och förväntade effekter

Utvecklingen har gått över förväntan och har genererat dels en prototyp som producerar relevant mängd nano-rent vatten, dels världens hittills enda kända analysmetod som verifierar renheten hos vattnet i flytande form. Tidigare har man hänvisats till att indunsta vattnet och studera detta under elektronmikroskop vilket inte är användbart vid massproduktion. Vi har använt den metoden för att försäkra oss om att resultaten från vår egen analys stämmer. Vi upptäckte dessutom under utvecklingen att det absolut rena vattnet till vår glädje är oerhört aggressivt när det är nyproducerat.

Upplägg och genomförande

Den tekniska utvecklingen har skett hos vår teknikkonsult Rejler. Den har varit synnerligen grannlaga för att inga läckage och korskontamination mellan ingående vatten och nyproducerat renvatten. Detta har krävt närvaro av vår teknikchef. Analysmetoden är utvecklad i samarbete med Anton Paar GmbH och har skett vid Electrumlab i.Kista I kritiska skeden har prototypen fraktats till Kista för att kunna producera nanorent vatten precis innan analys och för att utreda in vilken grad "inerta" material (kärlväggar) löses upp av det aggressiva nyproducerade vattnet.