EUREKA Eurostars E!8516 ANILP, Obducat Technologies

Syfte och mål

Ett nytt nanoimprint litografi (NIL) system med en imprint yta på 500 mm X 500 mm har blivit framgångsrikt utvecklat, inklusive stamp-tillverkningsteknologi. För att överkomma de fysiska begränsningar som uppstår vid ett stort processfönster för temperatur och tryck, har flertalet nya innovationer utvecklats och implementerats i systemet, inklusive en värmare med uniform temperaturdistribution över en stor yta, en ny presskammare med integrerad UV LED, samt en ny press- och inlåsningsmekanism.

Resultat och förväntade effekter

Ett NIL system för Imprint på stora ytor har blivit utvecklat, inklusive kontrollelektronik och användarmjukvara. Möjligheten att göra imprint på stora ytor har demonstrerats genom att replikera önskat mönster på ett 500 mm x 500 mm stort polymersubstrat från en Nickel-stamp. Färdigställandet av maskinen är en viktig milstolpe för att NIL teknologin ska kunna användas i en ny marknad som har väntat på en lösning för imprint med NIL på stora ytor. NIL systemet kommer att genomgå optimeringar och modifieringar för att vara färdig för lansering på marknaden under första halvan av 2017.

Upplägg och genomförande

Under projektperioden har intresset för NIL på stora ytor ökat signifikant, speciellt inom industrin för Displaytillverkning. Det innebär att starten av projektet för tre år sedan var väl anpassat tidsmässigt för att kunna möta det närstående industriella behovet. Projektet inkluderade alla viktiga aspekter för NIL på stora ytor, inklusive material, process, maskin och stamp. Även om behovet finns av uppskalning till än större ytor som var bortom målet för projektet, så var måluppfyllelsen en viktig milstolpe på vägen som möjliggjordes genom supporten från VINNOVA och Eurostars.