ENIAC PROMINENT MEMS-tillverkning förstärkt med bläckstrålemetoder KTH
| Diarienummer | |
| Koordinator | KUNGLIGA TEKNISKA HÖGSKOLAN - Skolan för elektro- och systemteknik |
| Bidrag från Vinnova | 2 340 000 kronor |
| Projektets löptid | mars 2013 - juni 2016 |
| Status | Avslutat |
Syfte och mål
Syftet med Prominent projektet var att undersöka fördelarna med maskfria, digitala och additiva tillverknings metoder istället för de subtraktiva processer, som används inom MEMS tillverkning idag. Målet, att tillverka 14 st olika demonstratorer, i vilka de subtraktiva processerna ersatts med de nya innovativa additiva tillverkningsmetoderna, uppnåddes. Tack vare detta fokus, att göra MEMS processning mer flexible och kosteffektiv har bidragit till en mer omfattande konkurrensfördel för den europeiska MEMS industrin.
Resultat och förväntade effekter
Som en del av demonstratorerna kopplade till billiga metoder för via fyllning and 3D integration, utvecklade KTH tillsammans med Silex AB nya TSV och TGV koncept genom att använda digitala tillverkningsprocesser. Som en sammanfattning var de flesta av de högt uppsatta målen och de 14 komplicerade demonstratoerarna realiserade och en betydande del av resultaten är tillämplig i kommersiell produktion medan vissa resultat är banbrytande prestationer.
Upplägg och genomförande
Som ledare av Task 2.2/2.3 samordnade KTH arbetet och fokuserade på TSV och TGV tillverkning med hjälp av additiva metoder baserande på integrering av nickel och guldtråd. Både väletablerad teknologi (trådbonding) och nyutvecklad teknik (magnetisk hopsättning) har använts. Tillsammans med partners inom konsortiet, var dessa nyckeltekniker demonstrerade och benchmarked, med avseende på prestanda och kostnader.