ENIAC PROMINENT MEMS-tillverkning förstärkt med bläckstrålemetoder SILEX

Reference number 2012-04301
Coordinator Silex Microsystems AB
Funding from Vinnova SEK 3 083 850
Project duration March 2013 - June 2016
Status Completed

Purpose and goal

Syftet med projektet var att undersöka maskfria, digitala och additiva tillverknings metoder istället för de subtraktiva processer, som används inom MEMS tillverkning tidigare. Genom anv av bläckstråleskrivare (IJP) har målet att de initiala investeringskostnaderna i tillverknings utr kan sänkas visats, större flexibilitet vid tillvn. ges och nya MEMS funktioner kan erhållas. Målet, att ersätts subtraktiva processer med de nya innovativa additiva tillverkningsmetoderna, uppnåddes. MEMS tillverkningen blir mer flexibel &kosteffektiv vilket är en konkurrensfördel SILEX

Expected results and effects

Som en del av demonstratorerna relaterad till Billiga metoder för via fyllning och 3D integration, utvecklade Silex tillsammans med mikrosystemteknik (MST) institutionen på Kungliga Tekniska Högskolan (KTH) nya TSV och TGV koncept genom att använda digitala tillverkningsprocesser. Silex utvecklade även en ny ´wafer level cappping´ teknologi för RF MEMS genom att använda den innovativa nya TGV teknologin i glas, vilken visade hög linjäritet och låga RF-förluster. Under 2016 har Silex börjat kommersialisera denna nya teknologien.

Planned approach and implementation

Som workpackage (WP) ledare för Billiga metoder för förbindelsefyllningen och 3D integration, Deponering av funktionella material och Bonding, samordnade Silex arbetet och fokuserade på TSV och TGV tillverkning med hjälp av additiva metoder och bonding på skivnivå med bläckstråleskrivna bondramar för hermetisk tillslutning. Tillsammans med partners inom konsortiet, var dessa nyckeltekniker demonstrerade och benchmarked, med avseende på prestanda och kostnader. Resultaten sammanfattade i ett vetenskapligt manuskript inskickat till Nature för publicering.

External links

Projektets hemsida med länkar till publicerade artiklar och patent samt mer detaljerad beskrivning av resultaten.

The project description has been provided by the project members themselves and the text has not been examined by our editors.